無油微型真空泵應用特點
電子半導體行業中的電子加速、光電器件、電子材料、射線管、晶振、繼電器、激光、離子注入設備、離子刻蝕機、化學氣相沉積設備、物理氣相沉積設備、分子束外延設備、集成電路封裝、等其他半導體應用設備。均在蒸發，濺射，PECVD，真空干法刻蝕，真空吸附，測試設備，機械手，自動化真空清掃等等鍵合工序里所需用的真空為（中高真空）；清掃真空（粗真空）；工藝真空（粗真空）。部份還有要求真空泵向被抽空間內的返流為零，以保護工件免受污染。
微型真空泵壽命長，體積更小，重量更輕，結構更加合理。完全實現了免維護，而且泵內無油，不污真空泵染傳輸介質，比其他泵符合電子半導體行業要求。
沒有了
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